Aso Sputtering Nigbati awọn patikulu agbara-giga bombard dada ri to, awọn patikulu lori dada ri to le jèrè agbara ati sa fun awọn dada lati wa ni nile lori sobusitireti.Lasan sputtering bẹrẹ lati ṣee lo ni imọ-ẹrọ ti a bo ni ọdun 1870, ati ni lilo diẹdiẹ ni iṣelọpọ ile-iṣẹ lẹhin 1930 nitori ilosoke ninu oṣuwọn ifisilẹ.Awọn ohun elo sputtering olopo meji ti o wọpọ ni a fihan ni Nọmba 3 [Aworan atọka ti ọpọn ti a bo igbale meji].Nigbagbogbo ohun elo ti a fi silẹ ni a ṣe sinu awo-afẹde kan, eyiti o wa titi lori cathode.A gbe sobusitireti sori anode ti nkọju si oju ibi-afẹde, awọn centimeters diẹ si ibi-afẹde naa.Lẹhin ti a ti fa eto naa si igbale giga, o kun fun 10 ~ 1 Pa gaasi (nigbagbogbo argon), ati foliteji ti ọpọlọpọ ẹgbẹrun volts ti wa ni lilo laarin cathode ati anode, ati ṣiṣan didan ti wa ni ipilẹṣẹ laarin awọn amọna meji. .Awọn ions rere ti ipilẹṣẹ nipasẹ itusilẹ fo si cathode labẹ iṣẹ ti aaye ina ati kọlu pẹlu awọn ọta lori aaye ibi-afẹde.Awọn ọta ibi-afẹde ti o salọ kuro ni oju ibi-afẹde nitori ikọlu naa ni a pe ni awọn ọta sputtering, ati pe agbara wọn wa ni iwọn 1 si mewa ti volts elekitironi.Awọn ọta sputtered ti wa ni ipamọ lori dada ti sobusitireti lati ṣe fiimu kan.Ko dabi ti a bo evaporation, sputter ti a bo ti wa ni ko ni opin nipasẹ awọn yo ojuami ti awọn fiimu ohun elo, ati ki o le sputter refractory oludoti bi W, Ta, C, Mo, WC, TiC, bbl Awọn sputtering yellow film le ti wa ni sputtered nipasẹ awọn ifaseyin sputtering. ọna, iyẹn ni, gaasi ifaseyin (O, N, HS, CH, ati bẹbẹ lọ) jẹ
ti a fi kun si gaasi Ar, ati gaasi ifaseyin ati awọn ions rẹ ṣe pẹlu atomu ibi-afẹde tabi atomu sputtered lati ṣe akojọpọ kan (gẹgẹbi oxide, nitrogen) Awọn akojọpọ, ati bẹbẹ lọ) ati fi silẹ lori sobusitireti.Ọna sputtering giga-igbohunsafẹfẹ le ṣee lo lati ṣafipamọ fiimu idabobo naa.Awọn sobusitireti ti wa ni agesin lori ilẹ elekiturodu, ati awọn insulating afojusun wa ni agesin lori idakeji elekiturodu.Ipari kan ti ipese agbara-igbohunsafẹfẹ giga ti wa ni ilẹ, ati pe opin kan ni asopọ si elekiturodu ti o ni ipese pẹlu ibi-afẹde idabobo nipasẹ nẹtiwọọki ti o baamu ati kapasito dina DC.Lẹhin ti yi pada lori awọn ga-igbohunsafẹfẹ ipese agbara, awọn ga-igbohunsafẹfẹ foliteji continuously ayipada awọn oniwe-polarity.Awọn elekitironi ati awọn ions rere ninu pilasima kọlu ibi-afẹde idabobo lakoko akoko idaji rere ati iyipo idaji odi ti foliteji, ni atele.Niwọn igba ti iṣipopada elekitironi ti ga ju ti awọn ions rere lọ, oju ti ibi-afẹde idabobo ti gba agbara ni odi.Nigbati iwọntunwọnsi ti o ni agbara ba ti de, ibi-afẹde wa ni agbara aiṣedeede odi, ki awọn ions rere ti n tu lori ibi-afẹde tẹsiwaju.Lilo sputtering magnetron le ṣe alekun oṣuwọn ifisilẹ nipasẹ isunmọ aṣẹ titobi ni akawe pẹlu ti kii ṣe magnetron sputtering.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-31-2021