Aso Evaporation: Nipa alapapo ati gbigbe nkan kan kuro lati fi sii sori ilẹ ti o lagbara, a pe ni ibora evaporation.Yi ọna ti a ti akọkọ dabaa nipa M. Faraday ni 1857, ati awọn ti o ti di ọkan ninu awọn
Awọn ilana ti a bo ni igbagbogbo lo ni awọn akoko ode oni.Eto ti ohun elo ti a bo evaporation ti han ni Nọmba 1.
Evaporated oludoti bi awọn irin, agbo, bbl ti wa ni gbe sinu kan crucible tabi ṣù lori gbona waya bi awọn evaporation orisun, ati awọn workpiece lati wa ni palara, gẹgẹ bi awọn irin, seramiki, ṣiṣu ati awọn miiran sobsitireti, ti wa ni gbe ni iwaju ti awọn crucible.Lẹhin ti a ti yọ eto naa lọ si igbale giga, crucible ti wa ni kikan lati yọ awọn akoonu naa kuro.Awọn ọta tabi awọn moleku ti nkan ti o gbẹ ti wa ni ipamọ lori oke ti sobusitireti ni ọna ti di.Awọn sisanra ti fiimu le wa lati awọn ọgọọgọrun ti angstroms si ọpọlọpọ awọn microns.Awọn sisanra ti fiimu naa jẹ ipinnu nipasẹ oṣuwọn evaporation ati akoko ti orisun evaporation (tabi iye ikojọpọ), ati pe o ni ibatan si aaye laarin orisun ati sobusitireti.Fun awọn ideri agbegbe ti o tobi, sobusitireti yiyi tabi awọn orisun evaporation pupọ ni a lo nigbagbogbo lati rii daju pe iṣọkan ti sisanra fiimu naa.Ijinna lati orisun evaporation si sobusitireti yẹ ki o kere si ọna ọfẹ ti awọn ohun alumọni oru ninu gaasi ti o ku lati ṣe idiwọ ikọlu awọn ohun alumọni oru pẹlu awọn ohun elo gaasi iyokù lati fa awọn ipa kemikali.Apapọ agbara kainetik ti awọn moleku oru jẹ nipa 0.1 si 0.2 volts elekitironi.
Awọn oriṣi mẹta ti awọn orisun evaporation lo wa.
① Orisun alapapo resistance: Lo awọn irin refractory gẹgẹbi tungsten ati tantalum lati ṣe bankanje ọkọ oju omi tabi filament, ati lo ina mọnamọna lati gbona nkan ti o gbe jade loke rẹ tabi ni crucible (Figure 1 [Aworan atọka ti ohun elo fifin evaporation] ibora igbale) Alapapo resistance orisun ti wa ni o kun lo lati evaporate awọn ohun elo bi Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
② Orisun gbigbona fifa irọbi giga-giga: lo lọwọlọwọ fifa irọbi giga-igbohunsafẹfẹ lati gbona ohun elo crucible ati evaporation;
③ Orisun alapapo elekitironi: wulo Fun awọn ohun elo pẹlu iwọn otutu evaporation ti o ga julọ (ko kere ju 2000 [618-1]), ohun elo naa jẹ vaporized nipasẹ fifọ ohun elo pẹlu awọn ina elekitironi.
Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ọna ibori igbale miiran, ibora evaporative ni oṣuwọn fifisilẹ ti o ga julọ, ati pe o le jẹ ti a bo pẹlu awọn fiimu alakọbẹrẹ ati ti kii-gbona ti bajẹ.
Ni ibere lati beebe kan ga-mimọ fiimu gara nikan, molikula tan ina epitaxy le ṣee lo.Ohun elo epitaxy tan ina molikula fun dagba doped GaAlAs Layer kristali ẹyọkan ni a fihan ni Nọmba 2 [Aworan atọka ti molikula tan ina epitaxy ohun elo igbale igbale].Ileru oko ofurufu ti ni ipese pẹlu orisun tan ina molikula.Nigbati o ba gbona si iwọn otutu kan labẹ igbale giga-giga, awọn eroja inu ileru ni a da jade si sobusitireti ninu ṣiṣan molikula ti o dabi tan ina.Sobusitireti ti wa ni kikan si iwọn otutu kan, awọn ohun elo ti o wa sori sobusitireti le lọ, ati pe awọn kirisita ti dagba ni aṣẹ ti lattice sobusitireti.Epitaxy tan ina molikula le ṣee lo lati
gba fiimu kristali kan ṣoṣo ti o ni mimọ-giga pẹlu ipin stoichiometric ti a beere.Fiimu naa dagba ni o lọra Iyara le jẹ iṣakoso ni 1 Layer nikan / iṣẹju-aaya.Nipa ṣiṣakoso baffle, fiimu gara kan ṣoṣo pẹlu akopọ ti o nilo ati eto le ṣee ṣe ni deede.Epitaxy tan ina molikula jẹ lilo pupọ lati ṣe iṣelọpọ ọpọlọpọ awọn ẹrọ iṣọpọ opiti ati ọpọlọpọ awọn fiimu igbekalẹ superlatice.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-31-2021