WVCP6000 Omi oru Cryopump Cryogenic refrigeration Systems
ọja Apejuwe
Guangzhou Xieyi Automation Technology Co., Ltd., eyiti o jẹ idasilẹ ni ọdun 2011, jẹ ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga alailẹgbẹ ni South China ti o ṣe alabapin ninu idagbasoke iwadii, iṣelọpọ, ijumọsọrọ imọ-ẹrọ ati iṣẹ fun awọn ifasoke fifa omi otutu otutu kekere ati awọn miiran olekenka-kekere otutu ẹrọ.
XIEYI WVCP Cryochillers ti wa ni pipade lupu cryogenic refrigeration awọn ọna šiše ti o pese 550 Wattis ~ 6,000 watts ti itutu agbaiye.A le lo awọn cryochillers wọnyi lati mu oru omi ati awọn nkan isọdi miiran nipa didi wọn sori ilẹ tutu gẹgẹbi Meissner coil (cryocoil).WVCP cryochillers ni a tun lo lati tutu awọn nkan bii awọn chucks electrostatic ti a lo ninu sisẹ wafer semikondokito.
Imọ paramita
Awoṣe | WVCP6000-SH | WVCP6000-DH |
Agbara itutu agbaiye ti o pọju (W) | 6000 | 6000 |
Iyara fifa fifa ti o pọju ti ẹkọ ti o pọju ti idẹkùn tutu tubular (L/S) | 588000 | 588000 |
Imọye iyara ti o pọju ti pakute tutu awo (L/S) | 882000 | 882000 |
Igbale ipari (mbar) | 2*10-8 | 2*10-8 |
Akoko yiyọ kuro ti agbegbe pakute tutu ti o pọju(min) | <5 | <5 |
Iwọn adijositabulu ti iwọn otutu idinku (℃) | -20-30 | -20-30 |
Ipo iṣakoso titẹ | Sensọ oni nọmba + Mechanical yipada | Sensọ oni nọmba + Mechanical yipada |
Iṣẹ titẹ iwọntunwọnsi imupadabọ yarayara (QRBP) | Bẹẹni | Bẹẹni |
Iṣẹ ẹri idilọwọ epo (OBP) | Bẹẹni | Bẹẹni |
4G isakoṣo latọna jijin | Bẹẹni | Bẹẹni |
Awọn ohun-ini media tutu | Pro-ayika | Pro-ayika |
Agbegbe oju ti o pọju ti pakute tutu tubular (㎡) | 4 | 4 |
Agbegbe oke ti o pọju ti pakute tutu awo (㎡) | 6 | 6 |
Ni pato ti pakute tutu kan (㎡) | φ16mm*80m | / |
Ni pato ti pakute tutu meji (㎡) | / | 2 * φ16mm * 40m |
Gas ni wiwo | 12.7 Ejò alurinmorin ipade (Boṣewa) | 12.7 Ejò alurinmorin ipade (Boṣewa) |
ParkerCPI/VCR(Aṣayan) | ParkerCPI/VCR(Aṣayan) | |
Ṣiṣan omi itutu (L/min ni 24 ℃) | 48 | 48 |
Iwọn otutu itaniji omi tutu (℃) | 38 | 38 |
Ile-iṣọ itutu agbaiye | Bẹẹni | Bẹẹni |
Asopọ omi itutu (L/S) | G1” | G1” |
Agbara fifuye ti o pọju (kW) | 25.3 | 25.3 |
Agbara ipin konpireso (HP) | 20 | 20 |
Ipese agbara (50HZ) | 380-400V AC 3P(H) | 380-400V AC 3P(H) |
200-230V AC 3P(L) | 200-230V AC 3P(L) | |
Iwọn (MM) | 935(L)*873(D)*1809(H) | 1235(L)*873(D)*1809(H) |
Ìwúwo(KG) | 655 | 655 |
Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa